Детальная информация об издании
Удовиченко, Сергей Юрьевич
Пучково-плазменные технологии для создания материалов и устройств микро- и наноэлектроники : учебное пособие для обучающихся по направлению "Нанотехнологии и микросистемная техника" : рек. УМО вузов РФ / С. Ю. Удовиченко ; Тюменский гос. ун-т, Физ.-техн. ин-т . - Тюмень : ТюмГУ, 2016. - 228 с. - Библиогр.: с. 224-227. - URL: https://icdlib.nspu.ru/views/icdlib/6332/read.php (дата обращения: 20.04.2024) . - ISBN 978-5-400-01349-2. - Текст : электронный
Пучково-плазменные технологии для создания материалов и устройств микро- и наноэлектроники : учебное пособие для обучающихся по направлению "Нанотехнологии и микросистемная техника" : рек. УМО вузов РФ / С. Ю. Удовиченко ; Тюменский гос. ун-т, Физ.-техн. ин-т . - Тюмень : ТюмГУ, 2016. - 228 с. - Библиогр.: с. 224-227. - URL: https://icdlib.nspu.ru/views/icdlib/6332/read.php (дата обращения: 20.04.2024) . - ISBN 978-5-400-01349-2. - Текст : электронный
Дата окончания договора: 31 декабря 2099 года
| Доступ | Наименование документа |
|---|---|
| А В | Полнотекстовый документ (читать) |
Пособие дает представление о современном состоянии исследований и разработок в области создания оборудования для пучково-плазменных технологий и о возможностях применения этих технологий в микро- и наноэлектронике. Особое внимание уделено современному высокотехнологичному оборудованию - НТК "НаноФаб-100".
Современное оборудование для пучково-плазменных технологий
Нанотехнологический комплекс "Нанофаб-100"
Технология магнетронного осаждения тонкопленочных материалов электроники
Применение растрового электронного микроскопа (РЭМ) для исследования структуры материалов и электронной литографии
Ионная литография
Вторично-ионная масс-спектрометрия (ВИМС)
Технология плазмохимического травления
Технология ионного легирования
Создание наноматериалов и устройств электроники
физика
наноэлектроника
микроэлектроника
создание материалов
литография
нанотехнологии
наноэлектроника
микроэлектроника
создание материалов
литография
нанотехнологии
